SIGMA VP MAT

Описание микроскопа

Свернуть
Растровые электронные микроскопы серии SIGMA с полевой эмиссией – это следующая ступень развития микроскопов серии EVO. Новая уникальная электронная колонна GEMINI со встроенным внутрилинзовым детектором дает беспрецедентное разрешение, яркость и контрастность изображений. А изолированный от камеры сверхвысокий вакуум в пушке и возможность изменения вакуума в камере позволяет исследование диэлектрических (непроводящих) объектов.

Применение/объекты
Задача
    Возможности ΣIGMA
Проектирование материалов


Получить изображение наноразмерных деталей непроводящего объекта



  • изображение непроводящих объектов с высокой разрешающей способностью при низких ускоряющих напряжениях

  • отличная топография поверхности для чувствительных к лучу образцов

  • способность проникновения в кристаллическую структуру, позволяет получать распределение элементов и оценивать качество спроектированных материалов


  • Структура материала


    Получение информации по тонким срезам о металлических образцах



  • STEM детектор высокого разрешения позволяет исследовать объекты на просвет и получать информацию о внутренних дефектах


  • Анализ частиц


    Измерение размеров частиц непроводящих объектов



  • компенсация заряда, используя переменное давление в камере позволяет получить высоко контрастные изображения с BSD для дальнейшей обработки

  • измерение размеров частиц в сочетании с EDS детектором


  • Анализ разрушений материала


    Исследовать механизмы разрушений и мест образования трещин



  • визуализируйте канальный контраст направлений в материалах, используя селективный по углу детектор обратно рассеянных электронов

  • топография мест микроразрушений с высокой разрешающей способностью


  • Фундаментальные исследования


    Получение изображений мелких деталей поверхности объектов чувствительных к вакууму



  • непревзойденное качество изображений непроводящих объектов при низких ускоряющих напряжениях


  • Технические характеристики

    Свернуть
    Колонна/камера
    Катод
    Катод Шотки с термополевой эмиссией
    Разрешение @ 1кВ
    2.8 нм
    Разрешение @ 15кВ
    1.5 нм
    Детектор обратнорассеяных электронов (BSD)
    Carl Zeiss BSD
    Максимальная скорость сканирования
    100 нс/пиксель
    Ускоряющее напряжение
    0.2 – 30 кВ
    Увеличение
    10х – 1 000 000х
    Ток пучка
    4 пА – 20 нА (100нА опционально)
    Максимальный размер изображения
    3072 – 2304 пикселей
    Доступные порты
    10
    Специальный порт для EDS
    1
    Вакуумная система
    Режим высокого вакуума
    Есть
    Режим переменного давления
    Есть
    Столик
    5ти осевой компуцентрический столик
    Ось Х
    125 мм
    Ось Y
    125 мм
    Ось Z
    50 мм
    Ось T (наклон)
    -10 – +90 градусов
    Ось R (вращение)
    360 градусов без ограничителя
    Яндекс.Метрика