MERLIN

Описание микроскопа

Свернуть
MERLIN уникальной электронной колонной GEMENI II позволяет работать как с экстремально низкими ускоряющими напряжениями, так и с очень высокими токами пучка. Максимальные аналитические возможности. Уникальный материальный контраст с детектором EsB в комбинации с одновременной работой внутрилинзового SE детектора.


Колонна GEMENI II позволяет получать изображение высокого разрешения даже при низком ускоряющем напряжении и высоком токе луча. В комбинации с программой Atlas позволяет получать снимки больших объектов с разрешением 32к х 32к точек.

 MERLIN – это система, способная решать огромное количество аналитических задач, как глубокого научного, так и промышленного характера.


Анализ на уровне наноразмеров
  • Сверхвысокое разрешение и высокий ток: Новая колонна GEMINI® II позволяет получать изображение со сверхвысоким разрешением даже при большом токе электронного луча

  • Оптимизирован для быстрого проведения микроанализа EDX, WDX , EBSD, CL

  • Лучшие в своём классе картины поверхности полученные при помощи уникального детектора EsB


  • Получение полной инфомации об образце
  • Одновременное получение полной инфориации об образце благодаря системе установленных на микроскопе детекторов (CDS): комиозиционный контраст, топография, кристаллография

  • Возможность получать изображение со сверхвысоким разрешением при исследовании непроводящих материалов благодаря усовершенствованному компенсатору заряда

  • Высокое качество изображения как результат очистки образца в едином вакуумном цикле

  • Возможность проведения 3D анализа


  • Легкость управления
  • Быстрый процесс получения изображения (менее чем за 60 сек.) с момента установки образца

  • Получение профессиональных результатов начинающими пользователями благодаря полностью автоматизированной регулировке инструмента

  • Не требуется время для полготовки к исследованию непроводящих образцов вследствие наличия компенсатора заряда


  • Возможность дооснащения
  • Первая в своём классе система с возможностью дооснащения на протяжении долгих лет службы

  • Продвинутый дизайн электроники микросокопа готовый к дальнейшему усовершенствованию

  • Возможность "апгрейда" системы путем добавления дополнительных детекторов на протяжении всего срока службы


  • Технические характеристики

    Свернуть
    Колонна
    Разрешение @ 1кВ
    1.4 нм
    Разрешение @ 15кВ
    0.8 нм
    Разрешение @ 30кВ (STEM режим)
    0,6 нм 
    Разрешение @ 20кВ, 10нА
    3,0нм
    Ускоряющее напряжение
    0,02-30 кВ
    Ток пучка
    От 30 пА до 300 нА (в зависимости от конфигурации системы)
    Увеличение
    12х – 2 000 000х
    Катод
    Нагреваемый,  с полевой эмиссией электронов, стабильность >0,2%/час
    Детекторы в базовой конфигурации
    Высокоэффективный встроенный SE детектор
    Эверхарт Торнли SE детектор
    Опциональные детекторы
    EsB детектор (дополнительный встроенный BSE-детектор)
    AsB детектор (стандартный или 4-х канальный усилитель 3DSM)
    4QBSD
    STEM
    Порты для других детекторов
    Столик
    5ти осевой эуцентричный
    Ось Х
    130 мм
    Ось Y
    130 мм
    Ось Z
    50 мм
    Ось T (наклон)
    -3° – +70° градусов
    Ось R (вращение)
    360 градусов без ограничителя
    Камера
    330 мм (Ø) х 270 мм (h)
    15 дополнительных портов таких как STEM, 4QBSD, EBSD, EDS, WDS
    CCD-камера с ИК подсветкой
    Вакуумная система
    Адаптирована для компенсации заряда, с очисткой
    Отображение
    Разрешение: до 32768 х 24576 пикселей
    Функции Интегрирования и усреднения
    Скорость сканирования
    17 скоростей сканирования электронного луча
    Время нахождения пучка в точке 25 нСек
    Дисплей
    19” TFT монитор с изображением 1024 х 768 пикселей
    Система
    SmartSEM с Windows, мышь, клавиатура, джойстик, панель управления
    Специальные приложения
    3View
    AFM
    Яндекс.Метрика