AURIGA Compact

Описание микроскопа

Свернуть
AURIGA Compact – это FIB-SEM, позволяющий легко погрузиться в мир 3D нанотомографии. Надежность проверенной технологии Carl Zeiss CrossBeam делает возможным получение изображения с высоким разрешением и производительное травление сфокусированным пучком ионов. Вы получаете максимальный морфологический и топографический контраст всех видов образцов. Высокое разрешение до 2,5 нм даже при низком ускоряющем напряжении 1 кВ, дополненное передовыми внутрилинзовым SE и BSE детекторами, а так же система местной компенсации заряда делает данный инструмент незаменимым при исследованиях в области нанотомографии, 3D-аналитики, подготовки проб и наношаблонов.

Технические характеристики

Свернуть
FE SEM
FIB
Разрешение @ 1 кВ

2,5 нм
Разрешение @ 15 кВ

1,2 нм
Разрешение @ 30 кВ

0,9 нм (режим STEM)

5 нм (30 кВ, 1пА)
Увеличение

12х 1 000 000

600х 5 00 000
Ток луча

4 пА – 100нА

1 пА – 50 нА
Ускоряющее напряжение

0,1 – 30 кВ

0,1 – 30 кВ
Катод

Катод Шоттки с полевой эмиссией

Источник ионов на жидком Ga (LMIS)
Система напуска газа

Мульти GIS до 5-и прекурсоров (Pt, C, W, I2, Au, диэлектрик SiOx, другие прекурсоры по заказу)

Мульти GIS до 4-х прекурсоров со встроенной системой компенсации заряда и/ или О2 очисткой (возможность использовать все стандартные детекторы)

GIS для одного прекурсора (Pt или С, другие газы по заказу)

Полностью автоматизированный, выдвижной газовый инжектор для местной компенсации заряда и на месте очистки (возможность использования всех детекторов высокого вакуума)
Детекторы

InLens - колцевой SE детектор по Эверхарту и Торнли 
Детекторы (upgrade)

InLensDuo – встроенный в колонну сцинтилляторный детектор с оптически связанным фотоумножителем для детектирования любой энергии обратно рассеянных электронов или InLens – детектирования вторичных электронов. Для регулировки контраста фильтрующая сетка настраивается в пределах 0 – 1,5 кВ 


Камера: 
Комбинированный детектор вторичных электронов/ вторичных ионов (SESI) основанный на сцинциляторе и фотоумножителе


Твердотельный сцинтиляторного типа BSD детектор

GEMENI мультирежимный BF/ DF STEM детектор
Камера


Несколько портов для различных вариантов, в том числе STEM, 4QBSD, EBSD, EDS, WDS, SIMS, CL, 
ГИС-систем, крио, система компенсации заряда, система манипуляции образцом. 
2-е ИК CCD-камеры для просмотра образца

Яндекс.Метрика