AURIGA Laser

Описание микроскопа

Свернуть
AURIGA ® Laser является уникальным сочетанием электронного микроскопа с системой чрезвычайно быстрого и точного удаления материала. С помощью импульсного лазерного луча,
AURIGA ® Laser удаляет основную часть материала вашего образца в кратчайшие сроки, затем Вы можете более тщательно проработать интересующие Вас области с помощью сфокусированного ионного луча. С  AURIGA ® Laser Вы получаете пробоподготовку и качественные изображения FIB-SEM в одной системе.

Технические характеристики

Свернуть
SEM
FIB
Разрешение

GEMENI-Колонна
Разрешение @ 1 кВ

1,9 нм
Разрешение @ 15 кВ

1,0 нм
Разрешение @ 30 кВ


Cobra колонна: <2,5 нм 
Canion колонна: <5,0 нм

Ускоряющее напряжение

0,1-30 кВ

<1 – 30 кВ
Ток пучка

4 пА – 20нА (100 нА опционально)

1 пА – 50 нА
Увеличение

12х – 1 000 000х

300х – 500 000х 
Катод

Нагреваемый, с полевой эмиссией электронов

источник ионов на жидком Ga (LMIS)
Система напуска газа (GIS)

Мультисистема GIS до 5 прекурсоров (Pt, C, W, Фтор, различные другие газы под заказ)

Мультисистема GIS до 4 прекурсоров с встроенной компенсацией заряда (возможность использования всех стандартных детекторов)

Система GIS для одного прекурсора (Pt, дальнейшие газы под заказ)

Полностью автоматизированный, выдвижной пневмо инжектор для местной компенсации заряда (возможность использования всех стандартных детекторов)
Детекторы
Ин-линзовый

Высокоэффективный SE детектор кольцевого типа
Камера

Эверхарт Торнли SE детектор
Детекторы (опции) 
Ин-линзовый

EsB детектор с фильтрующей сеткой, фильтрующее напряжение 0-1500 В
Детекторы (опции) 
Камера


Комбинированный, детектор вторичных электронов, вторичных ионов, основанный на системе сцинтилятор-фотоумножитель 
Твердотельный или сцинтиляторного типа BSD детектор 
GEMENI мультирежимный BF/DF STEM детектор

Камера

Порты для различных опций, включая STEM, 4QBSD, EBSD, EDS, WSD, SIMS, CL, GIS систему, крио, местный компенсатор заряда, систему манипуляции образцом, 2 ИК CCR-камеры
Лазер
Тип

Твердотельный, с диодной накачкой (Nd: YVO4)
Длина волны

355 нм
Длительность импульса

4…20 нс
Частота импульсов

1…120 кГц
Потребляемая мощность


Средняя: 0…20 Вт 
Пиковая: 0…20 кВт

Диаметр фокуса (М2=1,2)

15 мкм
Класс лазера

1
Скорость абляции

1 Mio мкм3/ сек (Кремний)
Программное обеспечение


Guided Laser/FIB Process 
Powerful CAD System 
Параметры управления лазером для различных материалов

Яндекс.Метрика