EVO HD LS

Описание микроскопа

Свернуть
EVO HD LS обеспечивает инновационное улучшенное разрешение, по сравнению с обычными растровыми микроскопами. EVO с технологией улучшенного разрешения HD значительно опережает все растровые электронные микроскопы своего класса.
Непревзойденное разрешение при низких ускоряющих напряжениях делает EVO HD безальтернативным выбором для исследования чувствительных к электронному лучу образцов. Технология HD обеспечивает высокую точность количественного анализа при низком вакууме, требуемую в широком диапазоне различных исследований.

Технические характеристики

Свернуть
Разрешение1.9 нм@ 30 кВ, SE
3 нм@ 30 кВ, SE (VP режим)
10 нм@ 30 кВ, 1нА
5 нм@ 3 кВ, SE
8 нм@ 1 кВ, SE
Ускоряющее напряжение0.2 – 30 кВ
Увеличение< 5 – 1 000 000x
Размер поля зрения6 мм на аналитическом рабочем отрезке (AWD)
X-ray анализ8.5 мм AWD и 35 градусах наклона детектора
Режимы OptiBeam ®Разрешение, анализ, глубина резкости, поле, «рыбий глаз»
Диапазон давления10 – 400 Па (конфигурация MA)
10 – 3000 Па (конфигурация LS)
Доступные детекторыBSD – детектор обратнорассеяных электронов
ETSE – детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли
VPSE – детектор вторичных электронов для VP режима
EPSE – детектор вторичных электронов для EP режима
SCD – измеритель тока через образец
STEM – детектор проходящих электронов (просвечивающий режим)
CL –катодолюминесцентный детектор
Камера образцаEVO HD15EVO HD25
365мм(Ø) x 275мм(h)420мм(Ø) x 330мм(h)
5-ти осевой моторизованный столик образцаEVO HD15EVO HD25
X = 125 мм, Y = 125 мм,X = 130 мм, Y = 130 мм,
Z = 50 мм, T =-10 ° +90º,Z = 50 мм, T = -10° +90º,
R = 360º (непрерывно)R = 360º (непрерывно)
Управление мышьюУправление мышью
или дополнительным джойстиком иили дополнительным джойстиком и
с панели управленияс панели управления
Максимальная высота образцаEVO HD15EVO HD25
145 мм210 мм
Возможные модификацииBeamSleeve®, режим расширенного давления (EP), напуск паров воды в камеру
Размер изображения3072 x 2304 точек, режим однократного накопления и непрерывного отображения
Система управленияSmartSEM® GUI управление мышью и клавиатурой
Windows® XP мультиязычная операционная система
Дополнительная информацияПитание: 100 – 240 В, 50 или 60 Гц одна фаза, охлаждение воздушное

Яндекс.Метрика